1. Йөкләү
Heatылылык алмашу өстәленә капланган кварцны урнаштырыгыз, кремний чималын өстәгез, аннары җылыту җиһазлары, изоляция җиһазлары һәм мич каплавы урнаштырыгыз, мичтәге басымны 0.05-0.1мбарга кадәр киметү өчен вакуумны саклагыз. Мичтәге басымны 400-600мбар тирәсендә тоту өчен, аргонны саклагыч газ буларак кертегез.
2. atingылыту
Мич тәнен җылыту өчен графит җылыткыч кулланыгыз, башта графит өлешләре, изоляция катламы, кремний чималы һ.б. өслегендә урнашкан дымны парга әйләндерегез, аннары кварц температурасы 1200-1300 тирәсе җитсен өчен әкренләп җылыныгыз.℃. Бу процесс 4-5 сәгать дәвам итә.
3. Эретү
Мичтәге басымны 400-600мбар тирәсендә тоту өчен, аргонны саклагыч газ буларак кертегез. Heatingылыту көчен әкренләп 1500 температурага яраклаштыру өчен арттырыгыз℃, һәм кремний чималы эри башлый. 1500 тирәсе саклагыз℃эретү процессы тәмамланганчы. Бу процесс якынча 20-22 сәгать дәвам итә.
4. Бәллүр үсеш
Кремний чималы эреп беткәч, җылыту көче кими, температура 1420-1440 га кадәр төшә.℃, кремнийның эрү ноктасы. Аннары кварц кристалл акрынлап аска таба хәрәкәтләнә, яисә изоляция җайланмасы әкренләп күтәрелә, шулай итеп кварц җылыту зонасыннан әкренләп китә һәм әйләнә-тирә белән җылылык алмашу формалаштыра; шул ук вакытта су эретү температурасын түбәнәйтү өчен суыту тәлинкәсе аша уза, һәм төбендә кристалл кремний барлыкка килә. Processсеш процессында каты-сыек интерфейс гел горизонталь яссылыкка параллель кала, кристалл үсеше тәмамланганчы. Бу процесс якынча 20-22 сәгать дәвам итә.
5. Аннальинг
Кристалл үсеше тәмамланганнан соң, кристаллның аскы һәм өске арасындагы зур температура градиенты аркасында, кремний вафаны җылыту һәм батарейка әзерләү вакытында яңадан өзелү җиңел булган инготта җылылык стрессы булырга мөмкин. . Шуңа күрә, кристалл үсеше тәмамланганнан соң, кремний ингот эретү ноктасы янында 2-4 сәгать саклана, кремний ингот температурасын бертөрле итү һәм җылылык стрессын киметү өчен.
6. Суыту
Кремний ингот мичкә ябыштырылганнан соң, җылыту көчен сүндерегез, җылылык изоляцияләү җайланмасын күтәрегез яки кремний инготын тулысынча төшерегез, һәм кремний инготының температурасын әкренләп киметү өчен мичкә аргон газының зур агымын кертегез. бүлмә температурасы; шул ук вакытта мичтәге газ басымы әкренләп атмосфера басымына кадәр күтәрелә. Бу процесс якынча 10 сәгать дәвам итә.
Пост вакыты: 20-2024 сентябрь
